直線光柵尺測量直線軸位置,測量期間沒有任何其它機械傳動件。因此,它能******以下潛在誤差源:
? 滾珠絲杠溫度特性導致的定位誤差
? 反向誤差
? 滾珠絲杠螺距誤差導致的運動特性誤差
因此,直線光柵尺是高精度定位和高速加工機床不可或缺的基礎技術手段。
敞開式直線光柵尺設計用于超高測量精度的機器和系統。典型應用包括:
? 半導體工業的測量和生產設備
? PCB電路板組裝機
? 超精密機床,例如加工光學器件的金剛石刀具,加工磁盤的端面車床和加工鐵氧體元件的磨床
? 高精度機床
? 測量機和比較儀、測量顯微鏡和其它精密測量設備
? 直驅電機
機械結構
敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼光柵尺帶和讀數頭,光柵尺和讀數頭間無機械接觸。
敞開式直線光柵尺的光柵尺帶固定在安裝面上。因此,安裝面的平面度是高精度直線光柵尺應用的基礎條件。